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HORIBA堀場高速和精密壓力不敏感質量流量計
簡要描述：

HORIBA堀場D700MG高速和精密壓力不敏感質量流量計
HORIBA堀場高速和精密壓力不敏感質量流量計

  • 產品型號：D700MG
  • 廠商性質：代理商
  • 更新時間：2025-02-12
  • 訪  問  量：87

詳細介紹

HORIBA堀場高速和精密壓力不敏感質量流量計

HORIBA堀場高速和精密壓力不敏感質量流量計

高速和精密壓力不敏感質量流量模塊

關鍵的半導體制造工藝不斷需要精密的氣體流量控制器件，這些器件既能實現(xiàn)未來的創(chuàng)新，又能實現(xiàn)前沿存儲器和邏輯器件從實驗室到晶圓廠的過渡。HORIBA 提出了新的基于壓力的 MFC D700MG，這是 D500MG 的上部兼容型號，以支持客戶的挑戰(zhàn)

  • 機上氣體和滿量程配置更改 *僅限 EtherCAT

    • 為流程優(yōu)化提供靈活性

  • 100ms 升壓響應和 MFC 到 MFC 偏差控制

    • 提供高生產率和更好的過程性能

  • 用于小流速的 MRMG 功能 （Bin101 – Bin105）

    • 為需要小流速的工藝提供靈活性

  • PFA 噴嘴具有更好的閥門關閉和耐腐蝕性

    • 堅固耐用，顆粒風險更低，減少停機時間并優(yōu)化產量

  • 狀態(tài)監(jiān)控器功能

    • 提供更多內部數(shù)據(jù)，實現(xiàn)更智能的故障預測


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