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日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體熱輥真空熱處理爐
簡(jiǎn)要描述：

日本ULVAC愛發(fā)科6090 6150半導(dǎo)體熱輥真空熱處理爐
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體熱輥真空熱處理爐

  • 產(chǎn)品型號(hào)：6090 6150
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時(shí)間：2024-11-25
  • 訪  問  量：205

詳細(xì)介紹

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體熱輥真空熱處理爐

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體熱輥真空熱處理爐


熱輥真空熱處理爐FHHn系列

可廣泛用于各種金屬零件的熱處理、釬焊、燒結(jié)等真空熱處理。 通過采用熱輥輸送方式并組合各單元室，可以構(gòu)成適合工藝的多室爐。


特征

  • 通過采用熱輥輸送方式，可以實(shí)現(xiàn)具有三個(gè)以上室的多室爐。

  • 您可以根據(jù)您的工藝，通過組合準(zhǔn)備室（真空/大氣交換）、預(yù)熱室（通常為 500℃）、加熱室（通常為 1150℃）和冷卻室單元來配置最佳設(shè)備。

  • 通過用雙閘閥分隔每個(gè)室，可以分離真空/大氣。

  • 通過使用載氣法，可以在蒸發(fā)較少的情況下處理金屬。

  • 可以根據(jù)計(jì)劃生產(chǎn)量添加單位。

  • 可以在線處理加熱 1 → 冷卻 1 → 加熱 2 → 冷卻 2 → 從產(chǎn)品組中移除。

目的

  • 真空熱處理：各種金屬的熱處理、釬焊

  • 燒結(jié)處理：磁鐵

規(guī)格

規(guī)格/型號(hào)60906150評(píng)論
表現(xiàn)
尺寸均勻加熱尺寸(mm)寬度600600
長(zhǎng)度9001500
高度600600
最大處理量（kg）500800包括托盤重量
溫度最高溫度預(yù)熱室600℃
加熱室1200℃
常用溫度預(yù)熱室500℃
加熱室1100℃
冷卻氣體冷卻標(biāo)準(zhǔn)30分鐘內(nèi)Ar、N2氣體
可選
壓力式190kPaG
真空極限壓力標(biāo)準(zhǔn)10 -1帕級(jí)空爐脫氣后值
高真空型10 -3帕級(jí)
常壓標(biāo)準(zhǔn)(1)1Pa~10Pa(1) 低真空中
(2) 載氣中
標(biāo)準(zhǔn)(2)10Pa～100Pa
高真空型10-2帕至10-1帕
排氣時(shí)間準(zhǔn)備室10分鐘內(nèi)空氣爐內(nèi)氣壓至10Pa以下
預(yù)熱室10分鐘內(nèi)
冷卻室10分鐘內(nèi)
泄漏率準(zhǔn)備室4×10 -4以下增壓法
預(yù)熱室4×10 -4以下
加熱室2×10 -4以下
冷卻室4×10 -4以下
公用事業(yè)

3室型
（預(yù)熱×1加熱×1冷卻×1）

電能（千伏安）300第480章設(shè)備電量
冷卻水量(m 3 /hr)1518水溫：20-30℃
壓縮空氣量（Nm 3 /min）11001100所需流量
載氣量(L/min)80200流量計(jì)最大值
冷卻氣體量（m 3 /次）912190kPa加壓冷卻
建筑面積（平方米）寬度1012
長(zhǎng)度1013
高度5.85.8
5室型
（預(yù)熱×2加熱×2冷卻×1）		電能（千伏安）第425章750設(shè)備電量
冷卻水量(m 3 /hr)二十五30水溫：20-30℃
壓縮空氣量（Nm 3 /min）11001100所需流量
載氣量(L/min)160300流量計(jì)最大值
冷卻氣體量（m 3 /次）911.7190kPa加壓冷卻
建筑面積（平方米）寬度1012
長(zhǎng)度12.517.5
高度5.85.8


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