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玉崎科學半導體設備理學Rigaku射線膠片厚度
簡要描述：

玉崎科學XTRAIA XD-3300半導體設備理學Rigaku射線膠片厚度
玉崎科學半導體設備理學Rigaku射線膠片厚度

在線 HRXRD/XRR 測量工具

  • 產品型號：XTRAIA XD-3300
  • 廠商性質：代理商
  • 更新時間：2024-09-29
  • 訪  問  量：162

詳細介紹

玉崎科學半導體設備理學Rigaku射線膠片厚度

玉崎科學半導體設備理學Rigaku射線膠片厚度


毯式晶圓和圖案晶圓的高分辨率 XRD 外延膜表征

XTRAIA XD-3300 是一款多功能  射線計量工具，可在大批量生產中以高通量對毯式和圖案化 300 mm 和 200 mm 晶圓上的單層和多層薄膜進行無損分析。

測量結果包括通過  射線反射率 (XRR) 測量的膜厚度、密度和粗糙度，以及通過高分辨率 XRD (HRXRD) 測量的外延膜厚度、成分、應變、晶格弛豫和結晶度。


XTRAIA XD-3300 概述

它支持多種應用，包括在線 XRD/XRR 多層堆疊、金屬薄膜、壓電薄膜、SiGe 和化合物半導體薄膜的厚度和成分分析。您可以根據(jù)您的應用選擇最佳的設備配置。

XRD 和 XRR 分析有可能通過內聯(lián)實現(xiàn)自動化。


XTRAIA XD-3300 特點

用于高效處理的內聯(lián)功能
用于靈活樣品定位的載物臺和測角儀
利用光束尺寸高達 40 μm 的高分辨率 X 射線束
全自動化功能，實現(xiàn)高效運營
兼容 200 毫米和 300 毫米晶圓
配備2D探測器，精確采集數(shù)據(jù)
通過*的分析軟件支持全面的數(shù)據(jù)解釋

XTRAIA XD-3300 規(guī)格

方法高分辨率X射線衍射（HRXRD）、射線反射率（XRR）
目的用于毯狀/圖案外延薄膜的
雙光束（線和 40μm 微點）
圖案識別
X射線源1：9 kW 銅旋轉陽極陰極或 2.2 kW 銅封裝管
2：COLORS™ 混合銅梁模塊，用于測量圖案化晶圓
主要部件整體和圖案晶圓測量
射線光學器件：最多 2 個單色儀 Ge(400) x 2、Ge(220) x 2、Ge(220) x 4
射線探測器：2D (HyPix-3000)
微光斑尺寸、圖案識別、高強度、chi軸
高精度測角儀
特征具有高強度旋轉反陰極和微點束的
COLORS™ 混合銅束模塊
選項單色儀、各種光學組件
GEM300 軟件、E84/OHT 支持
機身尺寸1656（寬）×3689（深）×2289（高）毫米
測量結果HRXRD、XRR、搖擺曲線和倒晶格圖 (RSM)


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